本文標題："特定X射線的強度與試樣元素含量以及從純元素檢測"

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特定X射線的強度與試樣元素含量以及從純元素檢測

    與X射線熒光分析二次激發(fā)熒光相反，電子微探針分析器是
利用電子轟擊直接激發(fā)。在直接轟擊中，如果轟擊電子有足夠能
址，以激發(fā)某一元素A的特定X射線的話，那么，在樣品區(qū)域被激
發(fā)元素A的原子數(shù)與該區(qū)域元素A的原子數(shù)成正比。
    在特定束流條件下，作為一次近似而言，被激發(fā)體積與其平均
密度的乘積包括同一質(zhì)量或原子數(shù)量，但與其成份無關(guān)。這種情
況的產(chǎn)生，是由于電子的阻滯作用(與電子密度有關(guān))和電子反向
散射之間具有相反的效應(yīng)，并有互相抵消的趨勢所造成，
    利用儀器的穩(wěn)定工作狀態(tài)可知，特定X射線的強度與試樣元
素含量以及從純元素取得的信號成正比。電子微探針分析比用X
射線熒光分析或光學(xué)輻射光譜分析所取得的信號強度與材料濃度
之間具有更好的線性關(guān)系。偏離線性的大小可以從理論上計算，
從而提高精度的數(shù)量級。通過大量工作，產(chǎn)生了若干用以獲得較
好數(shù)據(jù)的計算機方法，這些數(shù)據(jù)是由吸收和熒光校正而取得。

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