本文標題：" 微探針測試儀器簡介-試片之電性量測及驅(qū)動測試"
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儀器名稱 微探針測試平臺
功能
進行試片之電性量測及驅(qū)動測試。
規(guī)格
X ＆ Y 軸大位移量：25 mm。
注意事項
1. 移動平臺時，請確認探針皆已升起或移開試片表面后方可移動。
2. 移動平臺時，旋鈕不可轉(zhuǎn)動過快；大位移時，請直接移動試片
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