本文標(biāo)題：" 微結(jié)構(gòu)測(cè)量工具顯微鏡偵測(cè)樣品表面的機(jī)械動(dòng)態(tài)"
發(fā)布者：yiyi ------ 分類: 站內(nèi)動(dòng)態(tài) ------ 人瀏覽過(guò) -----時(shí)間：2013-3-2 5:50:44
微結(jié)構(gòu)測(cè)量工具顯微鏡偵測(cè)樣品表面的機(jī)械動(dòng)態(tài)
一種自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)與抗飄移機(jī)制用于量測(cè)儀器中訊號(hào)緩慢飄移之補(bǔ)償。
材料受熱膨脹或機(jī)械應(yīng)力釋放是造成緩慢訊號(hào)飄移的主要因素，
這樣的緩慢飄移可透過(guò)自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)與抗飄移機(jī)制補(bǔ)償。
量測(cè)探頭可藉由此機(jī)制維持其偵測(cè)靈敏度，
用于偵測(cè)樣品表面的機(jī)械動(dòng)態(tài)震動(dòng)，例如微懸臂樑或任何使用微機(jī)電制程所制作的微結(jié)構(gòu)。
可能的應(yīng)用范圍：
(1)掃描探針顯微術(shù)之熱飄移補(bǔ)償
(2)生化感測(cè)器之熱飄移補(bǔ)償
(3)微機(jī)電結(jié)構(gòu)檢測(cè)
(4)微、奈米級(jí)定位致動(dòng)器回饋之熱飄移補(bǔ)償
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