本文標(biāo)題："齒輪測量-微小的齒形狀輪廓測量光學(xué)影像測量儀"

齒輪測量-微小的齒形狀輪廓測量光學(xué)影像測量儀

光學(xué)和電子顯微鏡法

光學(xué)和電子顯微鏡法常用來研究降解過程中表面的幾何形態(tài)

(組織形態(tài))變化。光學(xué)顯微鏡法分辨率有限(大約]微米)，

所得到的是有關(guān)形成大的裂紋、裂縫、氣泡等數(shù)據(jù)，這些都與表

面光澤有關(guān)。表而復(fù)制電子顯微照相(例如，用聚合物纂膠或

烙體復(fù)制)有高的分辨率(^-5^-10納米)，，但制備模擬制品是

困難的，并且在制備時可能帶入人工的影響。掃描電子顯微鏡法

(S EM)是用于表面研究的J泣通用的方法，分辨率約10-20

納米。SEM能得到極好的立體表面形態(tài)圖象，甚至能觀察到給

晶現(xiàn)象。

近發(fā)展的周節(jié)測量儀有:測量方法還是原來的而實(shí)現(xiàn)了自

動化的測量儀，引進(jìn)了可直接求出分度誤差的新測量方法而實(shí)現(xiàn)

了自動化的測量儀。

對于滾齒或齒條形刀具切齒的齒輪，刀具基節(jié)轉(zhuǎn)移為工件基

節(jié)，間接測量刀具基節(jié)。精度低的齒輪，特別是齒形誤差大的齒

輪，因測量位且產(chǎn)生的誤差變動大，難以測量。相反，磨齒齒輪

由于齒形精度高，測量也比較容易。用手持式測量儀測量斜齒輪

基節(jié)時，螺旋角大者則基節(jié)測量值難以穩(wěn)定。

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